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主動隔振平臺集合了多種*技術(shù)
更新時間:2020-01-16   點擊次數(shù):1178次
   主動隔振平臺設(shè)計用于承載所有商業(yè)掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數(shù)聚焦離子束顯微鏡(FIB)及小型雙光束設(shè)備。SEM-Base VI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更強勁的控制器,帶有高級圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI讓越來越多的實驗室、工廠可以實現(xiàn)能夠滿足其關(guān)鍵設(shè)備所要求的地面振動水平。
  主動隔振平臺采用*串聯(lián)結(jié)構(gòu),振動傳感器測量的是地面振動,不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩(wěn)定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器,在測量亞Hz振動時具有大的敏感度。加上TMC*的壓電致動技術(shù),SEM-Base VI即使在振動情況已經(jīng)很好的地面上也可以實現(xiàn)超高水平的振動消除。
  相比于之前的SEM-Base版本,SEM-Base VI的振動隔離能力平均來說增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式雙核處理器,為設(shè)備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面,可以快速進入系統(tǒng)并實現(xiàn)平和的操作心態(tài)。當(dāng)通過Ethernet連接時,DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實現(xiàn)SEM-Base圖形用戶界面,無需額外安裝軟件或者應(yīng)用程序。當(dāng)然用戶也可以通過控制器的板載式菜單驅(qū)動液晶屏(LCD)直接進行控制。
  1、主動慣性振動消除:采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。
  2、硬式裝載技術(shù):兼容 SEM 內(nèi)部預(yù)裝的任何隔振系統(tǒng), 從 0.6Hz 開始主動強力消減地面低頻振動。
  3、*集成式的單平臺設(shè)計:設(shè)計與制造的集成化,將安裝平臺的工作簡化到了,簡單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。
  4、串行設(shè)計與壓電技術(shù):*串行設(shè)計加上高強度壓電專利技術(shù),SEM-Base VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬,更實現(xiàn)了的慣性主動振動消除,2Hz以上的振動衰減可達90%以上。
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