更新時間：2024-10-08
TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)STACIS ® III 是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和zui 先 進的壓電致動器，通過連續(xù)測量地板活動，然后膨脹和收縮壓電致動器以濾除地板運動來實時消除振動。
TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)
STACIS ® III 是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和zui 先 進的壓電致動器，通過連續(xù)測量地板活動，然后膨脹和收縮壓電致動器以濾除地板運動來實時消除振動。
STACIS 最初設計用于隔離*半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備，現(xiàn)在是噪聲環(huán)境中最敏感儀器的行業(yè)標準解決方案，包括但不限于半導體工廠、故障分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究。
STACIS III 包括一個新的和改進的數(shù)字控制器，DC-2020。憑借新的雙核處理器和以太網(wǎng)以及前后面板的 USB 串行端口，這種新的高級控制系統(tǒng)為用戶提供了現(xiàn)代且易于使用的圖形用戶界面 (GUI)。STACIS 在全球范圍內(nèi)成功安裝了數(shù)百次，是適用于對振動最敏感的儀器的理想隔振系統(tǒng)。
優(yōu)勢：
STACIS 的硬度是空氣隔振器的數(shù)百倍，不受空氣隔振系統(tǒng)的任何限制。沒有“軟"懸架，而且與主動空氣系統(tǒng)不同，STACIS 可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的工具下方，兩個系統(tǒng)都經(jīng)過全面優(yōu)化。
du特的串行設計和專有的高壓壓電技術
可實現(xiàn)從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動帶寬和wu與lun比的真正主動隔振，從 2 Hz 開始可減少 90% 的振動。
| 主動自由度 | 6個 |
| 有效帶寬 | 0.6 赫茲 - 150 赫茲 |
| 被動固有頻率 | 18 赫茲垂直和水平 |
| 有效主動諧振頻率 | 0.5赫茲 |
| 1 Hz 時的隔離 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz 時的隔離 | ≥90% |
| 10 磅（4.5 千克）階躍輸入后的穩(wěn)定時間（10:1 減少） | 0.3秒 |
| 內(nèi)部噪音 | <0.1 納米均方根 |
| 每個隔離器的工作負載范圍 | 低容量：182-500 千克（400-1100 磅） 中容量：410-955 千克（900-2100 磅） 高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅） |
| 剛度（1000 磅/454 千克質(zhì)量，中等容量隔離器） | 40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛頓/米) |
| 從隔離器發(fā)出的磁場最大為 4 英寸（102 毫米） | <0.02 μG 寬帶 RMS |
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